Statek晶振公司自成立以來,憑借著優(yōu)越的性能,超高的性能比贏得市場(chǎng)的歡迎度,創(chuàng)新的內(nèi)部設(shè)計(jì)、生產(chǎn)和測(cè)試能力不僅使新產(chǎn)品的快速開發(fā)和驗(yàn)證成為可能，而且使低加速度靈敏度、高沖擊、嚴(yán)格的校準(zhǔn)公差、低老化、抗輻射、高度在越來越高的工作溫度下穩(wěn)定的頻率。
1制造
一個(gè)典型的超小型AT空白大約3.50 mm × 0.63 mm。因?yàn)檫@個(gè)小尺寸，以獲得可接受的生產(chǎn)產(chǎn)量的容差約為2 μ m必需的。雖然傳統(tǒng)的處理技術(shù)無法滿足這一點(diǎn)嚴(yán)格的公差要求，使光刻工藝能夠維持尺寸公差優(yōu)于1µm。光刻過程開始于拋光石英片(1″× 1″或以上)。這些晶圓被化學(xué)蝕刻成預(yù)定的頻率，清洗，和用一層鍍鉻和金屬的薄膜,用電子束真空沉積金系統(tǒng)。(其他金屬，如鋁或可以用銀。)AT-strip模式為生成photo-lithographically使用面罩和雙對(duì)準(zhǔn)器，其中頂部與晶圓片底面對(duì)齊同時(shí),暴露。水晶然后電極和探針墊圖案由后續(xù)的照片掩蔽定義的一步。硅片是化學(xué)金屬和石英蝕刻形成單獨(dú)的atstrip。最后，頂部和底部安裝襯墊通過孔徑連接在一起掩蔽與金屬薄膜沉積。一旦光刻的過程是完整的晶圓包含125個(gè)獨(dú)立晶圓超微型at石英晶體諧振器。每個(gè)諧振器物理上與晶圓片相連的也帶電的小石英片將諧振器連接到晶片。這允許電測(cè)試每個(gè)諧振器都還在晶圓上。